中國粉體網訊 半導體制造過程中,經常需要固定和支撐硅片,為避免處理過程中出現移動和錯位現象,在加工過程中,硅片必須被平穩放置在工藝設備中,傳統的夾持技術已滿足不了現有的工藝要求。隨著靜電吸附技術日趨成熟,一種基于靜電吸盤式硅[更多]
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