中國粉體網訊 如果把芯片比作一幅平面雕刻作品,那么光刻機是打草稿的畫筆,刻蝕機則是雕刻刀,沉積的薄膜則是用來雕刻的材料。光刻的精度直接決定了元器件刻畫的尺寸,刻蝕和薄膜沉積的精度則決定了光刻的尺寸能否實際加工,而為了將芯片電[更多]
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